AccuSizer®數(shù)據(jù)解析
AccuSizer系統(tǒng)
概述
Entegris AccuSizer®既是液體粒子計數(shù)器,也是高分辨率粒度分析儀。本技術(shù)說明顯示了AccuSizer的典型結(jié)果,并對生成的數(shù)據(jù)進(jìn)行解釋。
單顆粒光學(xué)計數(shù)
AccuSizer基于單顆粒計數(shù)(SPOS)的技術(shù)。如圖1所示,粒子穿過一個狹小的傳感區(qū)域,通過消光(遮光)和散射作用。產(chǎn)生的消光(遮光)和散射脈沖合并送入脈沖高度分析儀,也稱為計數(shù)器。然后,校準(zhǔn)曲線將每個脈沖轉(zhuǎn)換為相關(guān)的粒徑。
圖 1. SPOS技術(shù)
AccuSizer可同時出具粒徑分布和顆粒濃度信息(顆/ml)。因此,AccuSizer既可以用作顆粒計數(shù)器,也可以用作粒度分析儀。生成的主要結(jié)果是數(shù)量粒徑分布,因為一次分析一個粒子,因此主要結(jié)果是粒子數(shù)量分布,而不是通過測試大量粒子并使用算法推導(dǎo)粒徑分布的集成技術(shù)。由于是對顆粒一顆顆單獨(dú)分析的,因此與激光衍射等集成技術(shù)相比,SPOS技術(shù)本質(zhì)上是一種更高分辨率的技術(shù)。
報告的尺寸是等效球面直徑 (ESD)。報告中的粒徑大?。ǖ刃蝮w)將產(chǎn)生與分析的球體相同的脈沖。圖2顯示了不同形狀顆粒的三個示例,紅色虛線表示ESD。
圖2. 等效球面直徑
分布類型:數(shù)量VS.體積
如前所示,主要結(jié)果是數(shù)量粒徑分布。這可以轉(zhuǎn)換為很少使用的截面粒徑分布。體積分布有時用于將AccuSizer結(jié)果與其他技術(shù)(如激光衍射)進(jìn)行比較,后者以這種格式生成主要結(jié)果。
考慮到包含三個尺寸為 10、20 和 30 μm 顆粒的分布,如圖 3 所示。
圖3. 分布10、20和30μm的三個顆粒
數(shù)量粒徑分布如圖4所示,其中顯示每個粒徑上都有一個相等的數(shù)字1。
圖4. 數(shù)量分布結(jié)果
現(xiàn)在,如果計算所有顆粒的總體積,然后創(chuàng)建圖5所示的體積分布,我們可以看到大部分總體積(>70%)來自30μm顆粒,很少來自10μm顆粒。
圖5. 體積分布結(jié)果
典型的基于數(shù)量粒徑分布的AccuSizer結(jié)果如圖6所示。到體積分布的轉(zhuǎn)換如圖7所示。注意數(shù)量粒徑分布看起來有多小。這些是相同的結(jié)果,只是顯示了不同的計算基數(shù)與體積。
圖6 數(shù)量分布結(jié)果
圖 7 體積分布結(jié)果
數(shù)量和體積分布之間的計算差異如表1所示。
| Mean | Std dev. | Mode | Median |
數(shù)量 |
1.16 |
1.07 |
0.6 |
0.83 |
體積 |
5.2 |
3.06 |
6.15 |
3.38 |
表1 數(shù)量與體積分布
計算結(jié)果
計算出的數(shù)值結(jié)果是用于樣品特性或者其他重要指標(biāo)的考慮因素所需值。在第一個結(jié)果中,大多數(shù)人關(guān)注可以用值描述的分布的中位徑,如平均粒徑、中位數(shù)和峰值。
平均值是中心點的計算值——類似于但不完_全相同于“平均值"。有幾種可能的方法可以計算均值。用于計算平均直徑和繪制粒度分布結(jié)果的公_認(rèn)技術(shù)由幾個國家和國際標(biāo)準(zhǔn)1、2、3解釋。報告的最常見值是數(shù)量、截面和體積加權(quán)平均值。用于定義這些值的典型公式如表2所示
表2 計算的平均直徑
對于我們的示例,分布為 10、20 和 30 μm,數(shù)量均值為 20 μm,而體積均值為 27.2 μm。
AccuSizer 顯示的其他計算結(jié)果總結(jié)如下:
RESULT | DEFINITION |
Concentration | Number of particles/mL |
Sensor file | The calibration file used |
Sensor model | Typically LE400, FX or FX Nano |
SUM vs. EXT | Summation or extinction cal curve |
Sensor S/N | Sensor serial number |
Sample time | Measurement duration in seconds |
Fluid volume | Total sample volume |
Threshold | Smallest particle size analyzed |
Total # sized | Number of particles analyzed |
結(jié)果表格
AccuSizer可以出具16、32、64、128、256或512個粒徑通道結(jié)果。在通過單擊控制菜單、系統(tǒng)菜單訪問對話框中的測量之前,必須選擇粒徑通道的數(shù)量。
或者,操作員可以選擇多達(dá)6個用戶定義的通道來定義感興趣的特定粒徑值。顯示用戶自定義通道的表格結(jié)果如表3所示。
累計匯總表格
粒徑 | 通道 顆粒數(shù) | 累計 顆粒數(shù) | 累計 顆粒濃度 | 數(shù)量粒徑 分布 | 體積 粒徑分布 | 累計數(shù)量 粒徑分布 | 累計體積 粒徑分布 |
0.50μm |
235590 |
263335 |
87354968 |
89.464 |
8.660 |
100.000 |
100.000 |
2.01μm |
23830 |
27745 |
9203728 |
9.049 |
23.441 |
10.536 |
91.340 |
5.02μm |
3426 |
3915 |
1298706 |
1.301 |
39.985 |
1.487 |
67.899 |
9.99μm |
453 |
489 |
162214 |
0.172 |
26.311 |
0.186 |
27.914 |
14.98μm |
35 |
36 |
11942 |
0.013 |
1.604 |
0.014 |
1.604 |
25.01μm |
1 |
1 |
332 |
0.000 |
0.000 |
0.000 |
0.000 |
表3 用戶自定義通道的表格結(jié)果
粒度分布的譜圖表示以多種格式呈現(xiàn)。譜圖結(jié)果通常顯示為直方圖分布。X軸為粒徑,單位μm,Y軸為粒徑分布占比,單位%。圖-7 和圖-8中顯示的結(jié)果是直方圖的示例。如果直方圖條形替換為穿過每個尺寸帶中心點的曲線,則生成的頻率結(jié)果如圖8所示。
圖8 體積分布,折線圖
在同一圖上疊加多個結(jié)果時,最好繪制圖 8 所示的結(jié)果,而不是條形圖。
如果在每個尺寸帶的中心點上畫一條線,但在 x 軸上繪制為粒徑大小,在 y 軸上繪制為給定粒徑下的百分比,則顯示累積分布如圖 9 所示。
表9 累計體積分布結(jié)果
其他結(jié)果:D10,D50,D90
描述粒度分布的另一種方法是在與直徑相關(guān)的分布上定義三個點,低于該點 10%、50% 和 90%。這些是 D10、D50 和 D90,如圖 10 所示。
Percent |
D10 D50 D90
Particle size
Frequency distribution Cumulative distribution
表10 D10, D50, D90
要顯示分布中的 D10、D50(也是中位數(shù))、D90 和其他百分位數(shù),請選擇顯示累積結(jié)果,結(jié)果如圖 11 中所示。
體積加權(quán)累積分布匯總 |
5% of total particle volume <1.51 microns |
10% of total particle volume <2.21 microns |
15% of total particle volume <2.87 microns |
20% of total particle volume <3.40 microns |
25% of total particle volume <4.21 microns |
30% of total particle volume <4.73 microns |
35% of total particle volume <5.52 microns |
40% of total particle volume <6.15 microns |
45% of total particle volume <6.85 microns |
50% of total particle volume <7.23 microns |
55% of total particle volume <8.05 microns |
60% of total particle volume <8.50 microns |
65% of total particle volume <9.09 microns |
70% of total particle volume <9.99 microns |
75% of total particle volume <10.55 microns |
80% of total particle volume <11.35 microns |
85% of total particle volume <12.40 microns |
90% of total particle volume <13.22 microns |
95% of total particle volume <14.58 microns |
99% of total particle volume <16.24 microns |
圖11 累計累積結(jié)果
引用
1 ASTM E2578; Standard Practice for Calculation of Mean Sizes/ Diameters and Standard Deviations of Particle Size Distributions
2 ISO 9276-2; Representation of results of particle size analysis—Part 2: Calculation of average particle sizes/diameters and moments from particle size distributions
3 ISO 9276-1; Representation of results of particle size analysis—Part 1: Graphical Representation